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diamondfire木虫 (正式写手)
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[交流]
请教关于sol-gel旋涂工艺的问题
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本人最近正在做PZT薄膜的制备，方法是在10x10的Pt/Ti/SiO2/Si片上旋涂PZT溶胶。 但是最近实验中总是发现旋涂镀膜在硅片的四角上镀不上膜，请教这是什么原因？应当如何处理改善薄膜的均匀程度。 注：本人所用的旋涂机有两档转速调节。 [ Last edited by diamondfire on 2007-5-16 at 20:02 ] |
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