24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
南方科技大学公共卫生及应急管理学院2026级博士研究生招生报考通知(长期有效)
查看: 1928  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

zhouzhehui

新虫 (小有名气)

[求助] 太阳能电池制造工艺中的etch back

The samples were exposed to a 30 Ω/□ diffusion and an etch-back to approx. 100 Ω/□.

For a selective FSF, the front surface hast to be masked
by inkjet- or screen-printing in the area that will be
contacted. The FSF is then etched back in an acidic
solution to the desired sheet resistance.

each back 是项神马技术
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员

【答案】应助回帖

你应该把文献贴出来啊。。我查了一下应该是这篇文献Large Area n-Type Silicon Solar Cells with Selective Front Surface Field and Screen Printed Aluminum-Alloyed Rear Emitter
大概看了一下,Each-back应该翻译为回刻蚀,做完掩膜之后再刻蚀一次(选择性刻蚀),形成选择性前表面场(selective FSF)。因为比传统工艺多一次刻蚀,所以应该翻译为回刻蚀。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

是金子总会发光!!!
6楼2012-07-19 22:28:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

105207759a

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-07-20 07:44:51
我以前是做TFT-LCD的,solar cells我没有做过。
但是我知道制程是一样的,但是solar cells的无尘室的等级没有LCD高。
在array段,主要分为TF,PH,以及ETCH,蚀刻分为干蚀刻以及湿蚀刻。
干蚀刻主要是用plasma轰击非金属薄膜,得到想要的形状。
湿蚀刻主要是用强酸腐蚀金属薄膜。
注意蚀刻完毕以后都要进行清洗。
另外TH是THIN FILM的意思
PH是PHOTO的意思,在一般的半导体书上面你都可以查到。
小隐隐于野,大隐隐于市
2楼2012-07-19 10:06:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-07-20 07:45:28
个人理解是这样的:扩散后,硅片的杂质含量从表面往内部应该是递减分布的。也就是方块电阻是从表面往内部增加的。酸的刻蚀(etch)在减薄硅片的同时,也可以作为调控方阻的手段。Etch-Back应该是刻蚀电池片背面,不算什么技术,就是一个工艺步骤而已。
是金子总会发光!!!
3楼2012-07-19 12:09:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhouzhehui

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by SCU_magiclee at 2012-07-19 12:09:36
个人理解是这样的:扩散后,硅片的杂质含量从表面往内部应该是递减分布的。也就是方块电阻是从表面往内部增加的。酸的刻蚀(etch)在减薄硅片的同时,也可以作为调控方阻的手段。Etch-Back应该是刻蚀电池片背面,不 ...

但这里的Etch-Back 显然是刻蚀FRONT SIDE吧
4楼2012-07-19 14:44:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
信息提示
请填处理意见