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请教TiO2的sol-gel薄膜问题
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用TBOT做TO2 sol，掺杂有Ca或B，然后拉膜，有几个问题比较奇怪，想请教一下： 1）拉膜时，第一遍往往质量蛮好，透明均匀；但是再拉时，就变得不均匀、浑浊，像析晶那种感觉，尤其是衬底上半部分， 2）掺杂与不掺杂的膜在热处理以后质量相差好像很大，不掺杂的膜质量很好，透明均匀；掺杂B、Ca的不均匀，碎裂、很容易剥落。 请各位帮忙分析一下或者提供点思路？多谢！ [ Last edited by luo.henry on 2008-4-25 at 15:28 ] |
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