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请教TiO2的sol-gel薄膜问题
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用TBOT做TO2 sol,掺杂有Ca或B,然后拉膜,有几个问题比较奇怪,想请教一下: 1)拉膜时,第一遍往往质量蛮好,透明均匀;但是再拉时,就变得不均匀、浑浊,像析晶那种感觉,尤其是衬底上半部分, 2)掺杂与不掺杂的膜在热处理以后质量相差好像很大,不掺杂的膜质量很好,透明均匀;掺杂B、Ca的不均匀,碎裂、很容易剥落。 请各位帮忙分析一下或者提供点思路?多谢! [ Last edited by luo.henry on 2008-4-25 at 15:28 ] |
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shuqunwei197910
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shuqunwei197910
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shuqunwei197910
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