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jufayin至尊木虫 (文坛精英)
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[求助]
Pttern制作
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问下问题： 1、怎么刻蚀Pattern： **微米X***nm 2、刻蚀 Si3N4 : Depth 300 nm 即： Pattern length 400um X width 400nm X Higth 40 nm FIB 应该可以实现 但是FIB 可以刻4inch Si 片不？ 还有没有别的方法？ 怎么实现？ 谢谢 |
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wonderrunner
铁杆木虫 (正式写手)
华东理工 环境科学与工程
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yswyx 
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