| 查看: 682 | 回复: 3 | |||
jufayin至尊木虫 (文坛精英)
|
[求助]
Pttern制作
|
|
问下问题： 1、怎么刻蚀Pattern： **微米X***nm 2、刻蚀 Si3N4 : Depth 300 nm 即： Pattern length 400um X width 400nm X Higth 40 nm FIB 应该可以实现 但是FIB 可以刻4inch Si 片不？ 还有没有别的方法？ 怎么实现？ 谢谢 |
回复此楼» 猜你喜欢
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有174人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
-
湖北师范大学复试调剂
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化工学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高-每届发展好
已经有0人回复
-
河北大学材料与化工专业研究生（专硕）招收调剂生
已经有0人回复
-
河北大学无机化学专业招收调剂生
已经有0人回复
-
济南大学国家优青课题组 2026 调剂招生来啦
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高发展好-欢迎各位同学
已经有0人回复
2楼2012-07-09 16:55:03
wonderrunner
铁杆木虫 (正式写手)
华东理工 环境科学与工程
- 应助: 45 (小学生)
- 金币: 5924.2
- 散金: 24
- 红花: 2
- 帖子: 342
- 在线: 196.3小时
- 虫号: 1190098
- 注册: 2011-01-15
- 性别: GG
- 专业: 水文、水资源
3楼2012-07-16 15:43:39
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
4楼2012-09-19 13:50:48
