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新虫 (初入文坛)

[求助] 无氧单晶

哪位高手知道什么是无氧单晶硅？怎么制备？用CZ法可以吗？有没有相关的资料

1楼 2012-06-27 13:29:33

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铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
huangjr: 金币+1, 感谢应助~ 2012-06-27 14:53:40
蓝心心: 金币+10, ★★★很有帮助, 呜呜。。现在才想起来。谢谢谢谢！ 2012-07-18 13:14:33

应该是氧含量很低的单晶。。。无氧是相对你的空白样来说的，如果样品氧含量低于空白就可以认为无氧。
一般低氧含量的单晶都是用区熔法制备的，CZ法由于坩埚的存在，在拉晶过程中氧会扩散进入硅中，因此CZ法的单晶氧含量比较高，如果想用直拉法制备低氧的单晶，磁控直拉法（MCZ）是个可能的选择。

是金子总会发光！！！

2楼2012-06-27 14:41:44

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