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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射起辉正常却没有溅射物质
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
8楼: Originally posted by zju100 at 2012-06-22 12:09:10
很可能是衬底接负极不好所致

衬底是Cu片
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11楼2012-06-22 16:11:32
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
10楼: Originally posted by jimstar at 2012-06-22 15:32:50
有以下几种可能：
1. 溅射的时候气压太高了，平均自由程太短，沉积速率非常低
2. 进气管道漏气，氧气含量太高，溅射率低
3. 溅射的时候气压太低了，你观察到的辉光是氩气的放电，并不是Al的辉光

溅射时气压为0.5Pa，进气管道应该没问题，我在同样的条件下直流溅射Sn都很正常的，Al是射频溅射的
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12楼2012-06-22 16:15:29
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jimstar

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
佳好_悦缘: 金币+1 2012-06-25 17:05:45
引用回帖:
12楼: Originally posted by 佳好_悦缘 at 2012-06-22 16:15:29
溅射时气压为0.5Pa，进气管道应该没问题，我在同样的条件下直流溅射Sn都很正常的，Al是射频溅射的...

0.5 Pa有点低了，一般射频启辉较直流难，建议你先把气压调高到1 Pa以上，待启辉稳定后再降低气压。
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^.^
13楼2012-06-25 10:18:10
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
引用回帖:
13楼: Originally posted by jimstar at 2012-06-25 10:18:10
0.5 Pa有点低了，一般射频启辉较直流难，建议你先把气压调高到1 Pa以上，待启辉稳定后再降低气压。...

启辉时是1Pa，稳定后才降到0.5，我一直都是这么做的
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14楼2012-06-25 17:05:35
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icic2012

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

祝福楼主，一切顺利！
祝福楼主，一切顺利！
祝福楼主，一切顺利！
祝福楼主，一切顺利！
祝福楼主，一切顺利！
祝福楼主，一切顺利！
祝福楼主，一切顺利！
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15楼2012-06-25 17:56:31
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伪科研人员

禁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
16楼2018-04-19 09:44:58
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