24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 2421  |  回复: 15

佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
8楼: Originally posted by zju100 at 2012-06-22 12:09:10
很可能是衬底接负极不好所致

衬底是Cu片
11楼2012-06-22 16:11:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
10楼: Originally posted by jimstar at 2012-06-22 15:32:50
有以下几种可能:
1. 溅射的时候气压太高了,平均自由程太短,沉积速率非常低
2. 进气管道漏气,氧气含量太高,溅射率低
3. 溅射的时候气压太低了,你观察到的辉光是氩气的放电,并不是Al的辉光

溅射时气压为0.5Pa,进气管道应该没问题,我在同样的条件下直流溅射Sn都很正常的,Al是射频溅射的
12楼2012-06-22 16:15:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jimstar

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖


佳好_悦缘: 金币+1 2012-06-25 17:05:45
引用回帖:
12楼: Originally posted by 佳好_悦缘 at 2012-06-22 16:15:29
溅射时气压为0.5Pa,进气管道应该没问题,我在同样的条件下直流溅射Sn都很正常的,Al是射频溅射的...

0.5 Pa有点低了,一般射频启辉较直流难,建议你先把气压调高到1 Pa以上,待启辉稳定后再降低气压。
^.^
13楼2012-06-25 10:18:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

引用回帖:
13楼: Originally posted by jimstar at 2012-06-25 10:18:10
0.5 Pa有点低了,一般射频启辉较直流难,建议你先把气压调高到1 Pa以上,待启辉稳定后再降低气压。...

启辉时是1Pa,稳定后才降到0.5,我一直都是这么做的
14楼2012-06-25 17:05:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

icic2012

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

祝福楼主,一切顺利!
祝福楼主,一切顺利!
祝福楼主,一切顺利!
祝福楼主,一切顺利!
祝福楼主,一切顺利!
祝福楼主,一切顺利!
祝福楼主,一切顺利!
15楼2012-06-25 17:56:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

伪科研人员

禁虫 (初入文坛)

本帖内容被屏蔽

16楼2018-04-19 09:44:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 佳好_悦缘 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 求调剂 +5 不会飞的鱼@ 2026-04-10 5/250 2026-04-10 19:07 by chemisry
[考研] 本9 一志愿西工大085601 324求调剂 +5 wysyjs25 2026-04-10 5/250 2026-04-10 16:57 by luoyongfeng
[考研] 一志愿211,化学学硕,310分,本科重点双非,求调剂 +27 努力奋斗112 2026-04-07 30/1500 2026-04-10 15:06 by Kilig0317
[考研] 一志愿中南大学物理学,英一66,求调剂 +4 长烟旖旎 2026-04-08 5/250 2026-04-10 10:31 by 颖果儿
[考研] 0854调剂 +7 950824he@ 2026-04-09 7/350 2026-04-10 09:10 by Delta2012
[考研] 材料与化工371求调剂 +17 陪琳看海 2026-04-04 18/900 2026-04-10 07:51 by 314126402
[考研] 一志愿中国科学院上海有机所,有机化学356分找调剂 +11 Nadiums 2026-04-09 11/550 2026-04-09 18:04 by lijunpoly
[考研] 求调剂希望还是希望在山河四省附近 +3 快乐的小白鸽 2026-04-05 3/150 2026-04-09 17:36 by wp06
[考研] 337求调剂 +4 Gky09300550, 2026-04-09 4/200 2026-04-09 17:18 by 帕尔马拉特
[考研] 0703总分331求调剂 +18 ZY-05 2026-04-04 22/1100 2026-04-09 09:09 by 哦哦123
[考研] 307分材料专业求调剂 +12 Hll胡 2026-04-05 12/600 2026-04-08 16:33 by luoyongfeng
[考研] 315求调剂 +17 欣喜777 2026-04-04 18/900 2026-04-08 13:54 by hangsimei
[考研] 307求调剂 +14 超级伊昂大王 2026-04-06 14/700 2026-04-08 07:03 by 无际的草原
[考研] 生物医药调剂|SCI中科院三区一作+多项科研成果 +8 likangxing 2026-04-07 11/550 2026-04-08 00:02 by lys0704
[考研] 085602调剂 初试总分335 +10 19123253302 2026-04-05 10/500 2026-04-07 15:23 by 小乔同学ya
[考研] 材料调剂 +17 小刘同学吖吖 2026-04-06 18/900 2026-04-07 11:41 by 诗与自由
[考研] 312求调剂 +4 LR6 2026-04-06 4/200 2026-04-07 08:42 by jp9609
[考研] 材料调剂 +5 小刘同学吖吖 2026-04-06 5/250 2026-04-06 18:34 by sherry_1901
[考研] 332求调剂 +17 小小孟... 2026-04-05 18/900 2026-04-06 09:51 by 蓝云思雨
[考研] 309求调剂 +4 快乐的小白鸽 2026-04-04 5/250 2026-04-04 15:55 by cql1109
信息提示
请填处理意见