应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射起辉正常却没有溅射物质
162/2返回列表上一页12
查看: 2686  |  回复: 15
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
8楼: Originally posted by zju100 at 2012-06-22 12:09:10
很可能是衬底接负极不好所致

衬底是Cu片
回复此楼
11楼2012-06-22 16:11:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
10楼: Originally posted by jimstar at 2012-06-22 15:32:50
有以下几种可能：
1. 溅射的时候气压太高了，平均自由程太短，沉积速率非常低
2. 进气管道漏气，氧气含量太高，溅射率低
3. 溅射的时候气压太低了，你观察到的辉光是氩气的放电，并不是Al的辉光

溅射时气压为0.5Pa，进气管道应该没问题，我在同样的条件下直流溅射Sn都很正常的，Al是射频溅射的
赞一下 回复此楼
12楼2012-06-22 16:15:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jimstar

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
佳好_悦缘: 金币+1 2012-06-25 17:05:45
引用回帖:
12楼: Originally posted by 佳好_悦缘 at 2012-06-22 16:15:29
溅射时气压为0.5Pa，进气管道应该没问题，我在同样的条件下直流溅射Sn都很正常的，Al是射频溅射的...

0.5 Pa有点低了，一般射频启辉较直流难，建议你先把气压调高到1 Pa以上，待启辉稳定后再降低气压。
赞一下 回复此楼
^.^
13楼2012-06-25 10:18:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
引用回帖:
13楼: Originally posted by jimstar at 2012-06-25 10:18:10
0.5 Pa有点低了，一般射频启辉较直流难，建议你先把气压调高到1 Pa以上，待启辉稳定后再降低气压。...

启辉时是1Pa，稳定后才降到0.5，我一直都是这么做的
赞一下 回复此楼
14楼2012-06-25 17:05:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

icic2012

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

祝福楼主，一切顺利！
祝福楼主，一切顺利！
祝福楼主，一切顺利！
祝福楼主，一切顺利！
祝福楼主，一切顺利！
祝福楼主，一切顺利！
祝福楼主，一切顺利！
赞一下 回复此楼
15楼2012-06-25 17:56:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

伪科研人员

禁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
16楼2018-04-19 09:44:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 佳好_悦缘 的主题更新
162/2返回列表上一页12
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 3/150 2026-09-14 23:45 by vZfe6xYu34yj
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 3/150 2026-09-14 23:09 by vZfe6xYu34yj
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 6/300 2026-09-14 22:37 by vZfe6xYu34yj
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 3/150 2026-09-14 22:33 by vZfe6xYu34yj
[考研] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 5/250 2026-09-14 22:25 by vZfe6xYu34yj
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 3/150 2026-09-14 22:24 by vZfe6xYu34yj
[找工作] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 5/250 2026-09-14 22:13 by vZfe6xYu34yj
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 5/250 2026-09-14 22:12 by vZfe6xYu34yj
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 4/200 2026-09-14 21:37 by vZfe6xYu34yj
[考博] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 5/250 2026-09-14 21:36 by vZfe6xYu34yj
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 5/250 2026-09-14 21:33 by vZfe6xYu34yj
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 5/250 2026-09-14 21:25 by vZfe6xYu34yj
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 5/250 2026-09-14 21:24 by vZfe6xYu34yj
[考博] 上海工程技术大学激光智能制造课题组招收博士研究生 +4 两三岁ss 2026-09-14 4/200 2026-09-14 20:29 by 班主任的同桌
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 3/150 2026-09-14 18:01 by Aj1rhIDL5ixY
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 4/200 2026-09-14 17:48 by Aj1rhIDL5ixY
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 6/300 2026-09-14 15:21 by Aj1rhIDL5ixY
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 3/150 2026-09-14 14:57 by Aj1rhIDL5ixY
[基金申请] 求教各位大神：2026教育部人文社科青年基金项目何时公示呀？ +5 云宴山人 2026-09-10 7/350 2026-09-14 12:11 by ecnu2013
[找工作] 浙江师范大学是怎么坑我的 +6 recruit123 2026-09-09 6/300 2026-09-14 12:00 by 萨仁其其格
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭