应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 腐蚀液配比
31/1返回列表
查看: 533  |  回复: 2
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

大水杯

木虫 (著名写手)

小虫

[求助] 腐蚀液配比

我想进行湿法刻蚀，KOH溶液刻蚀（100）Si片，二氧化硅作掩膜，请各位虫友指点一下，怎么配置KOH溶液，温度一般控制在多少度？
回复此楼

» 猜你喜欢
^V^
1楼2012-06-20 09:43:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
大水杯: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2012-06-22 15:27:56
别问为什么，用这个：H2O:KOH:IPA=5:5:2 ml:g:ml, 85C。
赞一下 回复此楼
2楼2012-06-22 13:29:55
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

大水杯

木虫 (著名写手)

小虫
引用回帖:
2楼: Originally posted by damuchongzi at 2012-06-22 13:29:55
别问为什么，用这个：H2O:KOH:IPA=5:5:2 ml:g:ml, 85C。

请问这个溶液配比下，85C的时候，（100）Si的腐蚀速率是多少
不加IPA可以吗？
赞一下 回复此楼
^V^
3楼2012-06-22 14:58:59
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 大水杯 的主题更新
31/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭