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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 腐蚀液配比
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大水杯

木虫 (著名写手)

小虫

[求助] 腐蚀液配比

我想进行湿法刻蚀，KOH溶液刻蚀（100）Si片，二氧化硅作掩膜，请各位虫友指点一下，怎么配置KOH溶液，温度一般控制在多少度？
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^V^
1楼 2012-06-20 09:43:35
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damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
大水杯: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2012-06-22 15:27:56
别问为什么，用这个：H2O:KOH:IPA=5:5:2 ml:g:ml, 85C。
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2楼2012-06-22 13:29:55
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大水杯

木虫 (著名写手)

小虫
引用回帖:
2楼: Originally posted by damuchongzi at 2012-06-22 13:29:55
别问为什么，用这个：H2O:KOH:IPA=5:5:2 ml:g:ml, 85C。

请问这个溶液配比下，85C的时候，（100）Si的腐蚀速率是多少
不加IPA可以吗？
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^V^
3楼2012-06-22 14:58:59
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