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大水杯

木虫 (著名写手)

小虫

[求助] 腐蚀液配比

我想进行湿法刻蚀,KOH溶液刻蚀(100)Si片,二氧化硅作掩膜,请各位虫友指点一下,怎么配置KOH溶液,温度一般控制在多少度?
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damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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大水杯: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2012-06-22 15:27:56
别问为什么,用这个:H2O:KOH:IPA=5:5:2 ml:g:ml, 85C。
2楼2012-06-22 13:29:55
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大水杯

木虫 (著名写手)

小虫

引用回帖:
2楼: Originally posted by damuchongzi at 2012-06-22 13:29:55
别问为什么,用这个:H2O:KOH:IPA=5:5:2 ml:g:ml, 85C。

请问这个溶液配比下,85C的时候,(100)Si的腐蚀速率是多少
不加IPA可以吗?
^V^
3楼2012-06-22 14:58:59
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