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溅射 原子下落方向??
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xixiqs
新虫
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[交流]
溅射 原子下落方向??
是不是可以垂直靶材方向下落??还是说与外场有关???
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2012-06-18 09:32:46
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vinter
银虫
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★
xixiqs(金币+1): 谢谢参与
楼主没描述清楚,问的是溅射气体原子,还是轰击出来的靶材原子?
无论是哪种,我认为都不会理想地垂直靶材方向,毕竟在等离子场中,粒子间还会相互碰撞
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2楼
2012-06-18 10:20:02
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yangy1220
新虫
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★
xixiqs(金币+1): 谢谢参与
祝福楼主
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3楼
2012-06-18 10:41:57
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大水杯
木虫
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★
xixiqs(金币+1): 谢谢参与
应该还与电场的方向有关,磁控溅射,还要考虑磁场方向
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4楼
2012-06-18 13:25:29
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zhilihu
木虫
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★
xixiqs(金币+1): 谢谢参与
所谓磁控溅射很明显与主要与磁场方向有关
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5楼
2012-06-19 16:52:28
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zhf1212
木虫
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★
xixiqs(金币+1): 谢谢参与
电子束溅射中出来的粒子有点像放烟花
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6楼
2012-06-20 09:27:31
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koufuye008
7楼
2012-06-21 09:29
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xixiqs(金币+1): 谢谢参与
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