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jinbiandou铁杆木虫 (正式写手)
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[求助]
用机械泵抽真空并保持一定压力，浮子流量计老是跳动，如何解决？
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| 大家好，初次搭建CVD设备，普通管式炉，机械泵，浮子流量计，我在实验过程中发现，维持一定的低压，浮子流量计老是跳动，是不是机械泵抽率变化引起石英管内气压变化导致的？应该加什么设备解决该问题呀？我目前结构是这样的:钢瓶-减压阀-浮子流量计-压力表-石英管-机械泵。谢谢各位！ |
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jinbiandou
铁杆木虫 (正式写手)
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4楼2012-06-13 06:30:34
hzqllsun
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