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jinbiandou铁杆木虫 (正式写手)
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用机械泵抽真空并保持一定压力，浮子流量计老是跳动，如何解决？
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| 大家好，初次搭建CVD设备，普通管式炉，机械泵，浮子流量计，我在实验过程中发现，维持一定的低压，浮子流量计老是跳动，是不是机械泵抽率变化引起石英管内气压变化导致的？应该加什么设备解决该问题呀？我目前结构是这样的:钢瓶-减压阀-浮子流量计-压力表-石英管-机械泵。谢谢各位！ |
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2楼2012-06-12 22:02:06
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6楼2012-06-13 12:44:33
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您好，看来您对CVD系统很熟悉，能开一下我这个贴子吗？http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=4205696 希望能够得到您的指点，非常感谢您！  |
7楼2012-07-15 16:24:40
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本帖内容被屏蔽 |
8楼2015-08-17 23:34:40
