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jinbiandou

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 用机械泵抽真空并保持一定压力,浮子流量计老是跳动,如何解决?

大家好,初次搭建CVD设备,普通管式炉,机械泵,浮子流量计,我在实验过程中发现,维持一定的低压,浮子流量计老是跳动,是不是机械泵抽率变化引起石英管内气压变化导致的?应该加什么设备解决该问题呀?我目前结构是这样的:钢瓶-减压阀-浮子流量计-压力表-石英管-机械泵。谢谢各位!
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hzqllsun

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
jinbiandou: 金币+1, 有帮助, 谢谢 2012-06-13 06:22:34
你的机械泵的抽力肯定大于你的进气量啊。当然会不停地跳。如果你要保持石英管的气压,就要在机械泵前面加一个压力控制器和控制阀!
PermanentHeadDamage;ProudlyHalfDead;PigHasDream!
2楼2012-06-12 22:02:06
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hzqllsun

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


jinbiandou: 金币+1, 有帮助, 谢谢 2012-06-13 06:23:00
具体的一个压力传感器,一个压力控制器,一个可调节阀门,组合在一起就可以了!
PermanentHeadDamage;ProudlyHalfDead;PigHasDream!
3楼2012-06-12 22:06:15
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jinbiandou

铁杆木虫 (正式写手)

请问楼上二位朋友,压力控制器,可调节阀门的具体型号,名称,厂家,谢谢
4楼2012-06-13 06:30:34
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木米月厷

银虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
jinbiandou: 金币+1, 有帮助, 谢谢 2012-06-14 06:38:11
浮子流量计?可以换个数字流量计,精确控制流速;然后在石英管后面连一个控制阀,就可以控制管内气压
千山鸟飞绝,万径人踪灭。
5楼2012-06-13 12:00:53
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hzqllsun

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


jinbiandou: 金币+1, 有帮助, 谢谢 2012-06-14 06:38:23
我们这里有人用aox electric actuator做压力控制,由于反应慢,所以控制不稳定。 我用的是mks 的压力控制器和控制阀(进口的,比较贵。用在自建系统上不值)。实话说,自己搭建这事挺烦心的,问题太多。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

PermanentHeadDamage;ProudlyHalfDead;PigHasDream!
6楼2012-06-13 12:44:33
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Nano-mse

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by hzqllsun at 2012-06-13 12:44:33
我们这里有人用aox electric actuator做压力控制,由于反应慢,所以控制不稳定。 我用的是mks 的压力控制器和控制阀(进口的,比较贵。用在自建系统上不值)。实话说,自己搭建这事挺烦心的,问题太多。

您好,看来您对CVD系统很熟悉,能开一下我这个贴子吗?http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=4205696
希望能够得到您的指点,非常感谢您!
7楼2012-07-15 16:24:40
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zzkejing

禁虫 (正式写手)

本帖内容被屏蔽

8楼2015-08-17 23:34:40
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