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关于退火中的扩散问题
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在高掺杂的Si表面溅射了一层金属当电极。 都知道，Au扩散系数高，据说300℃下就不成样子了。所以一般Au下面加了一层Cr。 my question is： 谁知道Al的扩散系数（300℃，都不敢高）怎么样？我们的材料几乎不能容忍金属向下扩散100 nm... 这个，量级~谁有经验？ [ Last edited by jb_zrj on 2012-6-11 at 14:40 ] |
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