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chicktj

新虫 (初入文坛)

[求助] CIGS太阳电池硒化装置

我采用自制的管式炉，和定做的如图所示的石英管对CIG金属预置层进行硒化，得到的样品通过XRD测试可以获得很好的结晶相，但是薄膜肉眼就可以看到不太均匀，并且采用相同条件得到的样品感觉颜色深浅也会有一定差别，均匀性也不是太好，有时候可以做得很均匀，有时候就完全是深浅不一的一片一片的，我的预置层面积大概2.5X2.5的，请高手给点意见是哪些原因影响到了均匀性，还有就是我这个装置在设计上是不是存在很大的缺陷？拜谢了
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1楼 2012-06-11 11:11:48
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chicktj

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by nja at 2012-06-11 13:29:30
首先观察你所得到的薄膜是杂乱无章的不均匀还是有一定朝向的不均匀分布，如果是后者，那么可以考虑是不是基板附近的气态硒浓度呈梯度分布，这与炉管温度的均与性，气压，保护气流速度有关。。。

就是每次做出来的情况都不同，有时候呈现出一定方向的不均匀，有时候会在薄膜表面出现圆圈状的斑点。另外如果是杂乱无章是什么原因呢？
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3楼2012-06-11 14:40:56
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nja

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chicktj: 金币+2, ★有帮助 2012-06-11 14:38:26
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-06-12 07:56:21
首先观察你所得到的薄膜是杂乱无章的不均匀还是有一定朝向的不均匀分布，如果是后者，那么可以考虑是不是基板附近的气态硒浓度呈梯度分布，这与炉管温度的均与性，气压，保护气流速度有关。。。
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2楼2012-06-11 13:29:30
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minglight9

铁杆木虫 (著名写手)

工程师

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
在出气口加一个挡板，减小出气量试试看效果如何。
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再牛逼的肖邦也弹不出老子的悲伤。
4楼2012-06-13 16:24:45
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zemix

铜虫 (小有名气)
Se的流量不稳定吧，硒化过程Se的气体一定要稳定在薄膜附近的，不然会导致硒化不均匀，尤其是表面上看，你可以看下SEM 截面看还有没有其他问题
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good good study, day day up
5楼2012-08-06 09:26:16
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查看全部 8 个回答
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