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探长008

木虫 (著名写手)

[交流] 如何测量薄膜的介电常数

请教

如何测量薄膜的介电常数?

我做的薄膜厚度在 0.1 - 1 um 范围, 找不到有一种好的方法来测其介电常数.

以前做过用椭圆偏振来测薄膜的折光指数, 再用 Maxwell 方程 转化为介电常数, 但这个方法总感觉影响因素比较多.

我对物理方法比较生疏, 有没有直接测量介电常数的方法?

欢迎感兴趣的虫友来讨论

[ Last edited by 探长008 on 2007-4-26 at 15:14 ]
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辛勤耕耘.....
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阿梨子

木虫 (正式写手)

我都是当体材料来测的阿
6楼2007-04-28 03:14:00
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查看全部 7 个回答

patent123

银虫 (小有名气)

★
hzsch-1978(金币+1):谢谢参与!
网络分析仪可以。

另外,百度下,看到有介电常数测试仪:
http://www.baidu.com/s?wd=%BD%E9 ... 3&f=1&rsp=0
2楼2007-04-26 18:39:16
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探长008

木虫 (著名写手)

非常感谢楼上的关心

我同时 也想听听做这方面 高手的见解和建议.
辛勤耕耘.....
3楼2007-04-26 21:57:06
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笨笨鸟

荣誉版主 (知名作家)

good good study, day day up

椭圆偏振来测薄膜的折光指数

hzsch-1978(金币+0):谢谢参与!呵呵!
俺现在也是用这个办法测试的
膜厚倒是比较准

就是介电常数不知道准不准啊
深度潜水
4楼2007-04-26 22:16:08
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