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探长008木虫 (著名写手)
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如何测量薄膜的介电常数
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请教 如何测量薄膜的介电常数? 我做的薄膜厚度在 0.1 - 1 um 范围, 找不到有一种好的方法来测其介电常数. 以前做过用椭圆偏振来测薄膜的折光指数, 再用 Maxwell 方程 转化为介电常数, 但这个方法总感觉影响因素比较多. 我对物理方法比较生疏, 有没有直接测量介电常数的方法? 欢迎感兴趣的虫友来讨论  [ Last edited by 探长008 on 2007-4-26 at 15:14 ] |
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hzsch-1978(金币+1):谢谢参与!
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网络分析仪可以。 另外，百度下，看到有介电常数测试仪： http://www.baidu.com/s?wd=%BD%E9 ... 3&f=1&rsp=0 |
2楼2007-04-26 18:39:16
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