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探长008

木虫 (著名写手)

[交流] 如何测量薄膜的介电常数

请教

如何测量薄膜的介电常数?

我做的薄膜厚度在 0.1 - 1 um 范围, 找不到有一种好的方法来测其介电常数.

以前做过用椭圆偏振来测薄膜的折光指数, 再用 Maxwell 方程 转化为介电常数, 但这个方法总感觉影响因素比较多.

我对物理方法比较生疏, 有没有直接测量介电常数的方法?

欢迎感兴趣的虫友来讨论

[ Last edited by 探长008 on 2007-4-26 at 15:14 ]
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辛勤耕耘.....
1楼 2007-04-26 14:59:37
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patent123

银虫 (小有名气)
★
hzsch-1978(金币+1):谢谢参与!
网络分析仪可以。

另外，百度下，看到有介电常数测试仪：
http://www.baidu.com/s?wd=%BD%E9 ... 3&f=1&rsp=0
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2楼2007-04-26 18:39:16
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探长008

木虫 (著名写手)
非常感谢楼上的关心

我同时 也想听听做这方面 高手的见解和建议.
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辛勤耕耘.....
3楼2007-04-26 21:57:06
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笨笨鸟

荣誉版主 (知名作家)

good good study, day day up

椭圆偏振来测薄膜的折光指数

hzsch-1978(金币+0):谢谢参与!呵呵!
俺现在也是用这个办法测试的
膜厚倒是比较准

就是介电常数不知道准不准啊
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深度潜水
4楼2007-04-26 22:16:08
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探长008

木虫 (著名写手)
楼上问题

这个办法应该比较准.

前提是, 膜一定要均匀 ( 没有相分离, 粗糙度比较小且均匀 );   厚度最好已知, 因为折光指数也是要拟合的, 不知道厚度的情况下, 要得到折光指数, 就同时有两个未知量, 很难确定.

折光指数=n*n+0.3  Maxwell  方程, 还是比较可信的
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辛勤耕耘.....
5楼2007-04-27 09:46:50
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阿梨子

木虫 (正式写手)
我都是当体材料来测的阿
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6楼2007-04-28 03:14:00
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探长008

木虫 (著名写手)
如果很厚的话可以的, 那样比较准确

可是, 如果很薄就得再想其他办法

有文献报道是用平行板电容器的原理, 将膜作为介电层, 测电容, 换算为介电常数. 我也想试试
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辛勤耕耘.....
7楼2007-04-28 13:24:20
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