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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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大水杯

木虫 (著名写手)

小虫

[求助] 硅片TTV

硅片的TTV值是什么意思?跟硅片的平整度是一回事吗?
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^V^
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khjxy

铜虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
TTV 是总厚度表面,标准一般是小于10um。平整度是TIR
2楼2012-06-04 19:47:20
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大水杯

木虫 (著名写手)

小虫

引用回帖:
2楼: Originally posted by khjxy at 2012-06-04 19:47:20
TTV 是总厚度表面,标准一般是小于10um。平整度是TIR

“总厚度表面”又是指什么,能否在详细点,还有,TTV跟TIR有何区别
^V^
3楼2012-06-04 19:50:40
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khjxy

铜虫 (初入文坛)


打错了。是总厚度变化
4楼2012-06-04 20:35:32
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大水杯

木虫 (著名写手)

小虫

再请教一下,一般我们购买硅片时,标签上都标有厚度值,如380+/-15um,15um是不是就是所谓的TTV呀?
^V^
5楼2012-06-04 21:49:53
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
5楼: Originally posted by 大水杯 at 2012-06-04 21:49:53
再请教一下,一般我们购买硅片时,标签上都标有厚度值,如380+/-15um,15um是不是就是所谓的TTV呀?

是指TTV在+/-15um的范围内。
6楼2012-09-19 01:17:27
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