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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅片TTV
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大水杯

木虫 (著名写手)

小虫

[求助] 硅片TTV

硅片的TTV值是什么意思？跟硅片的平整度是一回事吗？
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^V^
1楼 2012-06-04 16:12:27
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khjxy

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
TTV 是总厚度表面，标准一般是小于10um。平整度是TIR
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2楼2012-06-04 19:47:20
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大水杯

木虫 (著名写手)

小虫
引用回帖:
2楼: Originally posted by khjxy at 2012-06-04 19:47:20
TTV 是总厚度表面，标准一般是小于10um。平整度是TIR

“总厚度表面”又是指什么，能否在详细点，还有，TTV跟TIR有何区别
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^V^
3楼2012-06-04 19:50:40
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khjxy

铜虫 (初入文坛)
打错了。是总厚度变化
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4楼2012-06-04 20:35:32
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大水杯

木虫 (著名写手)

小虫
再请教一下，一般我们购买硅片时，标签上都标有厚度值，如380+/-15um，15um是不是就是所谓的TTV呀？
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^V^
5楼2012-06-04 21:49:53
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 大水杯 at 2012-06-04 21:49:53
再请教一下，一般我们购买硅片时，标签上都标有厚度值，如380+/-15um，15um是不是就是所谓的TTV呀？

是指TTV在+/-15um的范围内。
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6楼2012-09-19 01:17:27
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