[求助] 硅片TTV

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金属材料论文润色/翻译怎么收费? 已经有95人回复

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1楼2012-06-04 16:12:27

khjxy

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【答案】应助回帖

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TTV 是总厚度表面，标准一般是小于10um。平整度是TIR

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2楼2012-06-04 19:47:20

大水杯

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2楼: Originally posted by khjxy at 2012-06-04 19:47:20
TTV 是总厚度表面，标准一般是小于10um。平整度是TIR

“总厚度表面”又是指什么，能否在详细点，还有，TTV跟TIR有何区别

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3楼2012-06-04 19:50:40

khjxy

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打错了。是总厚度变化

4楼2012-06-04 20:35:32

大水杯

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再请教一下，一般我们购买硅片时，标签上都标有厚度值，如380+/-15um，15um是不是就是所谓的TTV呀？

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5楼2012-06-04 21:49:53

yswyx

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5楼: Originally posted by 大水杯 at 2012-06-04 21:49:53
再请教一下，一般我们购买硅片时，标签上都标有厚度值，如380+/-15um，15um是不是就是所谓的TTV呀？

是指TTV在+/-15um的范围内。

6楼2012-09-19 01:17:27