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请问大概200nm的薄膜,XRD怎么表征,我想知道其是什么物相,晶型是什么
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wangxf210
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1楼
2012-05-30 16:47:30
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makuna
木虫
(正式写手)
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(幼儿园)
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性别: GG
专业: 应用高分子化学与物理
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
Ultra small angle XRD
或者GIXRD
这两种方法都可行
200nm蛮厚了 呵呵
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哈哈nano我来了
20楼
2012-06-02 11:17:37
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jluxiaoxi
木虫
(正式写手)
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帖子: 708
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注册: 2010-11-25
性别: GG
专业: 半导体电子器件
【答案】应助回帖
★
感谢参与,应助指数 +1
lchpy: 金币+1, thanks for your information~
2012-05-31 20:59:30
直接拿着你的衬底和样品片各打一个XRD,相减应该可以的 这个方法自己没有用过 因为我们这有专门的测薄膜的XRD
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2楼
2012-05-30 18:02:42
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xiejf
专家顾问
(文学泰斗)
麦麦爸爸爱小牛
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(讲师)
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虫号: 1003879
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性别: GG
专业: 固体无机化学
管辖:
复合材料
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感谢参与,应助指数 +1
lchpy: 金币+1, thanks for your information~
2012-05-31 20:59:39
直接去测应该可能看到特征衍射峰的~
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麦麦爸爸爱小牛
3楼
2012-05-30 18:34:43
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olivia0532
木虫
(著名写手)
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注册: 2011-09-09
性别:
MM
专业: 电化学
【答案】应助回帖
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lchpy: 金币+1, thanks for your information~
2012-05-31 20:59:47
用XRD小角度掠射,具体角度看自己的情况而定,镀膜前后分别测定后作对比,去除基底的峰,然后用Jada计算分析
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼
2012-05-30 19:43:58
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