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多层膜的问题
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finetx
铜虫
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虫号: 1325316
[交流]
多层膜的问题
我用磁控溅射做的多层膜 TEM发现层最后居然岔开了一行 大家能提些意见么?
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2012-05-24 16:32:14
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xiejf
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finetx: 金币+1, 谢谢支持
2012-05-29 09:30:10
不大明白你要表达的意思~
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4楼
2012-05-24 18:50:47
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xlys-forever
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finetx: 金币+2, 谢谢支持
2012-05-29 09:30:24
"岔开了一行"具体指的是什么现象啊?是膜层分开了?
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2楼
2012-05-24 17:56:27
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finetx
铜虫
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2楼
:
Originally posted by
xlys-forever
at 2012-05-24 17:56:27:
"岔开了一行"具体指的是什么现象啊?是膜层分开了?
是啊,开始有交叉的情况 最后直接错排了一行
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3楼
2012-05-24 18:37:15
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xlys-forever
木虫
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是不是你的膜层太薄了,有的地方有缺陷膜导致层沿厚度方向分布不均匀,最终累积起来出现了错层。
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5楼
2012-05-25 08:42:00
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