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finetx

铜虫 (小有名气)

[交流] 多层膜的问题

我用磁控溅射做的多层膜 TEM发现层最后居然岔开了一行 大家能提些意见么？
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1楼 2012-05-24 16:32:14
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xlys-forever

木虫 (著名写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
finetx: 金币+2, 谢谢支持 2012-05-29 09:30:24
"岔开了一行"具体指的是什么现象啊？是膜层分开了？
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2楼2012-05-24 17:56:27
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finetx

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by xlys-forever at 2012-05-24 17:56:27:
"岔开了一行"具体指的是什么现象啊？是膜层分开了？

是啊，开始有交叉的情况 最后直接错排了一行
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3楼2012-05-24 18:37:15
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
finetx: 金币+1, 谢谢支持 2012-05-29 09:30:10
不大明白你要表达的意思~
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4楼2012-05-24 18:50:47
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xlys-forever

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
是不是你的膜层太薄了，有的地方有缺陷膜导致层沿厚度方向分布不均匀，最终累积起来出现了错层。
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5楼2012-05-25 08:42:00
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finetx

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by xlys-forever at 2012-05-25 08:42:00
是不是你的膜层太薄了，有的地方有缺陷膜导致层沿厚度方向分布不均匀，最终累积起来出现了错层。

2um啊 有过渡层
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6楼2012-05-25 15:47:00
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