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旋涂
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小虫在旋涂二氧化硅时，旋转时看到有同心圆，旋转结束后硅片表面看到是放射状的，且有微细小的块装物。到底什么原因啊？急 希望有经验的大虫给指点下！[ Last edited by xinmor on 2012-5-25 at 08:27 ] |
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5楼2012-05-25 11:17:17