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hqh2012

新虫 (小有名气)

[求助] 旋涂

小虫在旋涂二氧化硅时,旋转时看到有同心圆,旋转结束后硅片表面看到是放射状的,且有微细小的块装物。到底什么原因啊?急希望有经验的大虫给指点下!

[ Last edited by xinmor on 2012-5-25 at 08:27 ]
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wangjiannl

银虫 (正式写手)

不懂,还以为是“旅途“呢,
2楼2012-05-22 14:42:40
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liuzhen126

金虫 (正式写手)

清醒

同求!
我要把握住自己的幸福!
3楼2012-05-22 21:17:48
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4楼2012-05-22 21:19:19
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探长008

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

可能原因:
1 浓度大
2 基底不平
3 转速低
辛勤耕耘.....
5楼2012-05-25 11:17:17
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