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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 谁晓得SiO2和SiNx的击穿电压哪个较高？
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jamie82

木虫 (著名写手)

一三三

[求助] 谁晓得SiO2和SiNx的击穿电压哪个较高？

谁晓得SiO2、SiNx中，哪个材料的击穿电压高些？
厚度为6000埃 左右的SiO2、SiNx的击穿电压分别约为多少KV？非常感谢！
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心怀感恩，凡人与事都值得我感恩一番。
1楼2012-05-21 14:25:41
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forinsight

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
jamie82: 金币+8, ★★★很有帮助, 在之前已经知道答案了，还是谢谢你。 2012-06-07 08:21:58
jamie82: 金币+7, ★★★很有帮助 2012-06-11 08:22:21
Si3N4 应该稍高一些
SiO2 大概5-10*10^6 V/cm
SiNx 大概6-10*10^6 V/cm 看生长条件
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3楼2012-06-05 22:00:38
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jamie82

木虫 (著名写手)

一三三
谢谢你的回复！
不过好像有些对不上……
呃，奇怪怎么给不了金币……
赞一下 回复此楼
心怀感恩，凡人与事都值得我感恩一番。
2楼2012-05-22 08:12:28
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