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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 如何去除ITO玻璃上的ITO膜
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tjxdchen

木虫 (小有名气)

[求助] 如何去除ITO玻璃上的ITO膜

想要在ITO玻璃上弄出一小块绝缘区域，请问用什么方法能把ITO膜给去除呢？谢谢！
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1楼 2012-05-19 11:47:58
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baopkbao

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by tjxdchen at 2012-05-19 18:37:11
谢谢！我看样品说明里刻蚀HCl:H2O:HNO3=50:50:3只需3min，可是我用HCl:H2O=1:1的盐酸溶液要腐蚀一个多小时才行，这个硝酸就那么重要吗？...

你是用什么覆盖不需要刻蚀的地方的？ 旋涂一层正光刻胶PR1-1000，然后光刻图案再显影吗？
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7楼2015-03-25 18:31:24
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dalianq

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wbcui: 金币+1, 多谢帮忙 2012-05-19 17:06:23
tjxdchen: 金币+2, ★有帮助, 谢谢回帖！ 2012-05-20 11:10:39
砂纸打磨最简答，可以试试，
我见别人把ITO需要的部分贴上胶带，最后泡在王水中，貌似可以
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2楼2012-05-19 16:13:19
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mlanqiang

木虫之王 (文学泰斗)

蓝博士

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
tjxdchen: 金币+3, ★有帮助, 谢谢回帖！ 2012-05-20 11:10:26
想办法把需要部分遮盖后，浸泡到强酸中即可。
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蓝精灵
3楼2012-05-19 17:16:43
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tjxdchen

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by mlanqiang at 2012-05-19 17:16:43:
想办法把需要部分遮盖后，浸泡到强酸中即可。

谢谢！我看样品说明里刻蚀HCl:H2O:HNO3=50:50:3只需3min，可是我用HCl:H2O=1:1的盐酸溶液要腐蚀一个多小时才行，这个硝酸就那么重要吗？
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4楼2012-05-19 18:37:11
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