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csa5344235

木虫 (正式写手)

[求助] 如何分析薄膜的XRD图？

怎么分析薄膜的XRD图谱啊？薄膜在衬底上有取向生长，不像粉末的有3根线确定物相，该怎么分析是好啊？？？？头大啊！！！
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1楼 2012-05-16 15:47:48
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ltsstu

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
csa5344235: 金币+3 2012-05-18 10:20:40
目前明确的是，对于具有择优取向的薄膜，是需要做小角度分析，用小角X射线散射装置进行长周期散射的位置及各峰宽的测定，即是采用低的入射角。对薄膜多数条件下都是存在取向的，当薄膜很薄时，很难用极图来测量，采用不同角入射角测量，根据不同入射角角时，hkl衍射线强度的变化可以判断取向的变化。此外进行TEM，SEM分析。请参考相关的薄膜表征分析文献
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光电信息材料
7楼2012-05-17 21:34:31
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zmm870305

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
csa5344235: 金币+2, 博学EPI+1 2012-05-17 08:10:50
薄膜的应该很好分析啊，现根据你生长的材料找出标准图谱，然后除掉衬底峰，看看自己所测的峰位与标准图谱哪个方向的对应就是该方向的择优生长，不过也要看你薄膜生长的质量，不好的话可能就没你预期的峰位了。另一方面就是参考你所做材料的文献，一般都有XRD，别人怎么标你就怎么标了。
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2楼2012-05-16 17:04:13
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csa5344235

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zmm870305 at 2012-05-16 17:04:13:
薄膜的应该很好分析啊，现根据你生长的材料找出标准图谱，然后除掉衬底峰，看看自己所测的峰位与标准图谱哪个方向的对应就是该方向的择优生长，不过也要看你薄膜生长的质量，不好的话可能就没你预期的峰位了。另一 ...

但是，有的角度上对应薄膜物相上的多种物质啊，怎么确定呢？
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3楼2012-05-17 08:10:36
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zmm870305

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
csa5344235: 金币+2 2012-05-17 10:02:18
引用回帖:
3楼: Originally posted by csa5344235 at 2012-05-17 08:10:36:
但是，有的角度上对应薄膜物相上的多种物质啊，怎么确定呢？

你想表达的是某一角度对应同一物质的多种取向，还是一些其他非预期物质也可能在此处有峰？对此，要么参考类似文献，看看大部分人怎么标，另外就是做元素分析
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4楼2012-05-17 09:10:08
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