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月下冰魂

木虫 (正式写手)

[求助] 求腐蚀Ag的高效腐蚀液!!

求腐蚀Ag或者Pt或者Au单质的化学腐蚀液,在硅片上溅射的金属,几个纳米,想很快的腐蚀掉,但是不能腐蚀或者氧化 硅片,请问有什么方法?

文献中有提到用硝酸腐蚀Ag,但是感觉腐蚀速度比较慢,不知道有没有其他的更加高效的方法,谢谢!
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奋斗。。。
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by ganwei06101 at 2012-05-16 09:22:00:
氨水加双氧水最好,很快就除去了,体积比1:1

你指的是腐蚀Ag吗,还是Ag,和Pt都行呢?不知道您是否知道一个大概的速度呢?谢谢
奋斗。。。
6楼2012-05-16 10:06:02
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
见证2011: 金币+1, 欢迎常来! 2012-05-16 14:44:42
加入氢氟酸试一试吧,氢氟酸具有较强的腐蚀能力又不腐蚀硅单质,但要注意安全

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

宁毁千座庙不坏一桩姻!
2楼2012-05-15 23:10:50
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cs104

金虫 (正式写手)

我宅,故我帅;我帅,故我在。

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
见证2011: 金币+1, 欢迎常来! 2012-05-16 14:44:49
试试氨水加双氧水。

或是单独氨水。毕竟就几纳米厚。
工作过的内容:chemically mechanical polishing、Nanoparticles polishing slurry、Lapping、etch、电镀及污水处理、丙烯酸树脂及其油墨
3楼2012-05-16 08:13:55
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jinxiyu

铜虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
见证2011: 金币+1, 欢迎常来! 2012-05-16 14:44:56
您不妨用王水一泡就没了
4楼2012-05-16 08:23:32
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