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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 无机化学 » 求腐蚀Ag的高效腐蚀液！！
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

[求助] 求腐蚀Ag的高效腐蚀液！！

求腐蚀Ag或者Pt或者Au单质的化学腐蚀液，在硅片上溅射的金属，几个纳米，想很快的腐蚀掉，但是不能腐蚀或者氧化 硅片，请问有什么方法？

文献中有提到用硝酸腐蚀Ag，但是感觉腐蚀速度比较慢，不知道有没有其他的更加高效的方法，谢谢！
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奋斗。。。
1楼 2012-05-15 22:44:09
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
见证2011: 金币+1, 欢迎常来！ 2012-05-16 14:44:42
加入氢氟酸试一试吧，氢氟酸具有较强的腐蚀能力又不腐蚀硅单质，但要注意安全

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

yunsanapo
宁毁千座庙不坏一桩姻！
2楼2012-05-15 23:10:50
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cs104

金虫 (正式写手)

我宅，故我帅；我帅，故我在。

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
见证2011: 金币+1, 欢迎常来！ 2012-05-16 14:44:49
试试氨水加双氧水。

或是单独氨水。毕竟就几纳米厚。
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工作过的内容：chemically mechanical polishing、Nanoparticles polishing slurry、Lapping、etch、电镀及污水处理、丙烯酸树脂及其油墨
3楼2012-05-16 08:13:55
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jinxiyu

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
见证2011: 金币+1, 欢迎常来！ 2012-05-16 14:44:56
您不妨用王水一泡就没了
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4楼2012-05-16 08:23:32
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ganwei06101

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
见证2011: 金币+1, 欢迎常来！ 2012-05-16 14:45:02
月下冰魂: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2012-05-22 08:37:15
fds329: 金币+2, 感谢应助。辛苦了O(∩_∩)O 2012-06-15 21:18:57
氨水加双氧水最好，很快就除去了，体积比1:1
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5楼2012-05-16 09:22:00
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月下冰魂

木虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by ganwei06101 at 2012-05-16 09:22:00:
氨水加双氧水最好，很快就除去了，体积比1:1

你指的是腐蚀Ag吗，还是Ag,和Pt都行呢？不知道您是否知道一个大概的速度呢？谢谢
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奋斗。。。
6楼2012-05-16 10:06:02
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cs104

金虫 (正式写手)

我宅，故我帅；我帅，故我在。
★ ★
fds329: 金币+2, 感谢应助。辛苦了O(∩_∩)O 2012-05-16 15:05:31
引用回帖:
6楼: Originally posted by 月下冰魂 at 2012-05-16 10:06:02:
你指的是腐蚀Ag吗，还是Ag,和Pt都行呢？不知道您是否知道一个大概的速度呢？谢谢

只是腐蚀银。
金不知道行不行，但pt应该是不行的。
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工作过的内容：chemically mechanical polishing、Nanoparticles polishing slurry、Lapping、etch、电镀及污水处理、丙烯酸树脂及其油墨
7楼2012-05-16 15:00:24
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月下冰魂

木虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by cs104 at 2012-05-16 15:00:24:
只是腐蚀银。
金不知道行不行，但pt应该是不行的。

这个腐蚀的速度带该有多少呢？  xnm/min？
还有，王水相对他有什么不同呢？不知道王水腐蚀不腐蚀硅呀？？
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奋斗。。。
8楼2012-05-16 17:35:20
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yunsanapo

金虫 (小有名气)

耐腐蚀艺术馆馆长
★
送鲜花一朵
fds329: 金币+1, 感谢交流 2012-06-15 21:19:13
引用回帖:
2楼: Originally posted by hongliushu03 at 2012-05-15 23:10:50
加入氢氟酸试一试吧，氢氟酸具有较强的腐蚀能力又不腐蚀硅单质，但要注意安全

这位是在开玩笑吧，，，氢氟酸最容易腐蚀硅了，但即使是沸腾的48%的HF也不和金，铂，银反应！
建议用盐酸+ 过氧化氢，加热。腐蚀速度快并且产生的有害气体少
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耐腐蚀艺术馆——带您探寻腐蚀之美
9楼2012-06-12 20:49:06
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by yunsanapo at 2012-06-12 20:49:06
这位是在开玩笑吧，，，氢氟酸最容易腐蚀硅了，但即使是沸腾的48%的HF也不和金，铂，银反应！
建议用盐酸+ 过氧化氢，加热。腐蚀速度快并且产生的有害气体少...

你搞清楚再说话，氢氟酸容易腐蚀氧化硅而不是硅单质！搞笑！

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宁毁千座庙不坏一桩姻！
10楼2012-06-13 00:45:02
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