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liweiwuyi

铁虫 (小有名气)

[交流] 晶片表面的划痕怎么处理? 已有3人参与

晶片在研磨阶段,采用较小的磨料,表面会产生比较多且深的机械划痕,请各位大侠给帮忙分析分析,怎样才能避免机械划痕的产生,多谢!
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liweiwuyi

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by gordon2008 at 2012-05-17 11:21:41:
你把你所采用的工艺步骤简要说一下,给你找找问题

工艺参数:加载重量:3KG;研磨盘转速40~80rpm;铸铁盘;金刚石W1.5、W3.5
加工步骤:1、配研磨液+超声波振荡
          2、贴片
          3、行星轮式研抛机研磨+研磨液循环供给
9楼2012-05-17 23:12:07
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查看全部 11 个回答

0511112040

木虫 (著名写手)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
gordon2008: 金币+1, 欢迎交流 2012-05-17 11:20:54
使用更细的磨粒研磨,然后用绒布等抛光
走自己的路,做最好的自己
3楼2012-05-16 16:49:21
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liweiwuyi

铁虫 (小有名气)


gordon2008: 金币+1, 欢迎交流 2012-05-17 11:21:04
引用回帖:
2楼: Originally posted by xxjgs at 2012-05-16 08:31:22:
研磨后用抛光

谢谢回帖,研磨的时候采用金刚石W3.5,产生比较深的划痕,能否有比较好的工艺,避免类似划痕的产生?
4楼2012-05-16 22:00:33
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liweiwuyi

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 0511112040 at 2012-05-16 16:49:21:
使用更细的磨粒研磨,然后用绒布等抛光

谢谢回帖,研磨的时候采用金刚石W3.5,研磨盘采用的是铸铁盘,产生比较深的划痕,能否有比较好的工艺,避免类似划痕的产生?
5楼2012-05-16 22:01:08
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