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LI1205qiang

银虫 (著名写手)

[交流] 有人在ITO玻璃基底上做NiO薄膜吗

大家都用过什么方法啊?哪种做出的好一点呢?除了除了磁控溅射还有别的法吗?
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羊大猫110

铜虫 (小有名气)

我也是最近准备做NiO的薄膜,也和楼主一样不想用磁控了,我是准备在硅基片上做,所以先考虑PED,其实应该是PLD更好,但是太贵,也少。
2楼2012-05-30 13:49:49
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LI1205qiang

银虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 羊大猫110 at 2012-05-30 13:49:49
我也是最近准备做NiO的薄膜,也和楼主一样不想用磁控了,我是准备在硅基片上做,所以先考虑PED,其实应该是PLD更好,但是太贵,也少。

呵呵 我准备先用溶胶凝胶研究研究 因为别的镀膜设备正在学习中
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3楼2012-05-31 11:29:18
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