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LI1205qiang

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[交流] 有人在ITO玻璃基底上做NiO薄膜吗

大家都用过什么方法啊？哪种做出的好一点呢？除了除了磁控溅射还有别的法吗？

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希望在这里学到更多知识找到良师益友

1楼 2012-05-11 16:11:06

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羊大猫110

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我也是最近准备做NiO的薄膜，也和楼主一样不想用磁控了，我是准备在硅基片上做，所以先考虑PED，其实应该是PLD更好，但是太贵，也少。

2楼2012-05-30 13:49:49

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LI1205qiang

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引用回帖:

2楼: Originally posted by 羊大猫110 at 2012-05-30 13:49:49
我也是最近准备做NiO的薄膜，也和楼主一样不想用磁控了，我是准备在硅基片上做，所以先考虑PED，其实应该是PLD更好，但是太贵，也少。

呵呵我准备先用溶胶凝胶研究研究因为别的镀膜设备正在学习中

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3楼2012-05-31 11:29:18

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