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巍巍sol

金虫 (小有名气)

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[求助] 等离子体处理的问题

文献上等离子体处理打的气体是Si-(CH3)3，基底是硅片。想问的是：
1. 这种气体可以直接和基底反应吗？也没有反应基团啊，难道是Si-C键断裂？？
2. 如果不是硅片基底，而是其他表面没有硅羟基的基底可否表面也能形成一层单分子层？这层单分子层和表面有共价键作用吗？
答的好的一定会追加金币，谢谢大侠们！

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1楼 2012-05-10 21:20:39

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巍巍sol

金虫 (小有名气)

2楼2012-05-11 09:40:16

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