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巍巍sol

金虫 (小有名气)

[求助] 等离子体处理的问题

文献上等离子体处理打的气体是Si-(CH3)3,基底是硅片。想问的是:
1. 这种气体可以直接和基底反应吗?也没有反应基团啊,难道是Si-C键断裂??
2. 如果不是硅片基底,而是其他表面没有硅羟基的基底可否表面也能形成一层单分子层?这层单分子层和表面有共价键作用吗?
答的好的一定会追加金币,谢谢大侠们!
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巍巍sol

金虫 (小有名气)

2楼2012-05-11 09:40:16
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