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铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 外延生长和择优取向的区别

在生长薄膜的时候，什么叫外延生长，什么叫择优取向，两者有什么区别，什么联系？谢谢大家

1楼 2012-05-09 20:47:40

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铁杆木虫 (正式写手)

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蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-12 09:35:03
qqxiwuzhiren: 金币+1, 谢谢 2012-05-20 11:17:18

引用回帖:

2楼: Originally posted by xiejf at 2012-05-09 21:07:52:
外延生长要有与基底的晶格匹配
择优取向是晶体自身受晶面稳定性驱使的生成稳定晶面的生长。

我不同意这个说法，晶体受晶面稳定性驱使的生长就是说是完全由热力学决定的，哪有什么择优可言？择优应该是打破了上述完全由热力学决定的取向比例而产生了某个占优势的结晶学取向。

对外延薄膜来说，外延指的是严格的面内共格，择优指的是某一晶向延着垂直膜面的方向，面内可以不是完全共格的。

5楼2012-05-10 19:44:22

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引用回帖:

6楼: Originally posted by xiejf at 2012-05-10 20:48:37:
我的意思是比如某些晶面原子是密堆积，相应的生成能也许就会更低些，更容易生成，也就择优了。

我没弄错你的意思，你说的这个不是择优。如果你长一个多晶的薄膜，比如热力学上（111）面能量最占优，长出来确实是（111）的多，这不是择优，而是它本来就应该这样。但是由于衬底的选择或者其它什么原因你长的膜是（110）面平行于膜面的，这才是择优吧，不知道我理解的对不对。

7楼2012-05-11 14:02:52

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