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前段时间配气的结果 请各位专家进一步指导 多谢！
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按照之前各位专家的指导方案，配气采用如下方法。 （1）空气压缩机出口安装调压阀，将压力调在一个压力值。空气通过碱石灰和除水剂后，通过稳压阀稳定压力，再用针阀调节流量。 （2）CO2气路与之相同，只是气源出口的位置装的是减压阀，后面也是稳压阀和针阀。 （3）两路气体在缓冲瓶混合，出来以后接一个旁路，用红外检测器（lico7000）测混合气体CO2含量。 简单的说，就是按照“减压阀+稳压阀+针阀”的方法。 24小时运行的结果见附件。画圈的部分是对钢瓶的减压阀压力进行调节的时间点，其他地方任其自动运行，没有调节。 现在有这样几个问题想请教各位专家。 （1）虽然所配气体CO2浓度波动相比之前有明显减小，但是仍然存在一个幅度约20-40ppm的波动。是否有办法进一步减小这个波动，使之更稳定。 （2）在流量的调节上，使用的是针阀而不是稳流阀。这是因为稳流阀没有大流量气体的规格的，最大只能控制2l/min。而空气路流量通常要大于这个流量。如果使用稳流阀代替针阀，配气效果会不会更好一些。 （3）前两天借来两台MFC，北京七星的，量程分别为10SLM和10SCCM。想问一下所通气体要怎样净化，我现在只是在净化管口放一些棉花。还是说要使用专门的过滤器。听说这种是精密仪器，又是借的，给弄坏了就不好了。 因为我不是学化学的，过程中肯定还有其他疏漏和错误之处，也请各位专家一并指出。 非常感谢！  |
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