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大傻子

新虫 (小有名气)

[求助] 前段时间配气的结果 请各位专家进一步指导 多谢!

按照之前各位专家的指导方案,配气采用如下方法。
    (1)空气压缩机出口安装调压阀,将压力调在一个压力值。空气通过碱石灰和除水剂后,通过稳压阀稳定压力,再用针阀调节流量。
    (2)CO2气路与之相同,只是气源出口的位置装的是减压阀,后面也是稳压阀和针阀。
    (3)两路气体在缓冲瓶混合,出来以后接一个旁路,用红外检测器(lico7000)测混合气体CO2含量。
    简单的说,就是按照“减压阀+稳压阀+针阀”的方法。
    24小时运行的结果见附件。画圈的部分是对钢瓶的减压阀压力进行调节的时间点,其他地方任其自动运行,没有调节。

    现在有这样几个问题想请教各位专家。
   (1)虽然所配气体CO2浓度波动相比之前有明显减小,但是仍然存在一个幅度约20-40ppm的波动。是否有办法进一步减小这个波动,使之更稳定。
    (2)在流量的调节上,使用的是针阀而不是稳流阀。这是因为稳流阀没有大流量气体的规格的,最大只能控制2l/min。而空气路流量通常要大于这个流量。如果使用稳流阀代替针阀,配气效果会不会更好一些。
    (3)前两天借来两台MFC,北京七星的,量程分别为10SLM和10SCCM。想问一下所通气体要怎样净化,我现在只是在净化管口放一些棉花。还是说要使用专门的过滤器。听说这种是精密仪器,又是借的,给弄坏了就不好了。
   

因为我不是学化学的,过程中肯定还有其他疏漏和错误之处,也请各位专家一并指出。
   
    非常感谢!
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jlupce

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
MFC是要使用专门的过滤器,管路中就不用针阀了,流量也更稳定
2楼2012-05-09 20:48:32
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yexinyu

捐助贵宾 (小有名气)


对于质量流量计而言,其中间的颗粒物最好是50UM以下的,所以像空压这种出来的气体,您本身只是通过一个简单的干净过滤,一般不能达到相应的级别,最好装上过滤精度达到25U以上过滤器,条件允许在再加干燥器!
3楼2012-05-12 09:33:03
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