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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 如何抑制驻波效应 vhf ccp 平行版放电
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lilin1314

新虫 (初入文坛)

[求助] 如何抑制驻波效应 vhf ccp 平行版放电

如何抑制驻波效应  vhf  ccp   平行版放电

谢谢了
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1楼 2012-05-04 10:21:15
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kjwu

捐助贵宾 (正式写手)

【答案】应助回帖

可以通过改变工艺条件改变，比如反应压力，气体的流量和比列等；或者改进反应腔showerhead设计
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3楼2012-05-24 15:48:48
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
请详细说明你的现象及问题！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
2楼2012-05-07 13:19:34
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lilin1314

新虫 (初入文坛)
lilin1314: 回帖置顶 2012-11-14 10:28:09
求助 差分电探针的制作！！
赞一下 回复此楼
4楼2012-11-14 10:28:04
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