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[求助]硅片上长SiN钝化效果不好，想问问怎么查原因
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等离子体增强化学气相沉积法（PEVCD）长的薄膜做passivation，结果长完以后lifetime比较差，肯定是系统不干净有杂质，但不知道到底是哪些元素引起的，总不能都送SIMS，想来问问这里高人有什么办法排查。 组里有人说做CV用G-V曲线可以，我怎么看着不行啊。我自己在想DLTS，但又没有设备。 |
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