| 查看: 464 | 回复: 2 | ||
[求助]
[求助]硅片上长SiN钝化效果不好，想问问怎么查原因
|
|
等离子体增强化学气相沉积法（PEVCD）长的薄膜做passivation，结果长完以后lifetime比较差，肯定是系统不干净有杂质，但不知道到底是哪些元素引起的，总不能都送SIMS，想来问问这里高人有什么办法排查。 组里有人说做CV用G-V曲线可以，我怎么看着不行啊。我自己在想DLTS，但又没有设备。 |
回复此楼» 猜你喜欢
一公斤钽材七千多，钛才两三百，换钛不就完了？
已经有0人回复
-
2026考博自荐
已经有4人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有242人回复
-
钽基超高温碳化物规模化合成 开启极端材料新时代
已经有0人回复
-
温敏水凝胶收缩
已经有0人回复
-
PDMS膜在溶液中的离子透过率
已经有0人回复
-
2026年WR青拔进展
已经有20人回复
-
攒人品 论文祈福
已经有139人回复
-
science advances的AAAS系统上返修
已经有0人回复
-
science advances的AAAS系统上返修问题
已经有2人回复
-
LDPE黑十字为什么那么大
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 高校图书馆科技查新人员待遇
已经有16人回复
- 调查一下国内阿秒、高次谐波研究现状
已经有14人回复
- 帮忙查一下几个药物的溶解度，每个5BB，谢谢！
已经有6人回复
- 水热法后水溶性纳米Fe3O4洗涤3次后不能被磁铁吸引是什么原因
已经有32人回复
- 说说elsevier的期刊的技术检查
已经有13人回复
- 【求助】小麦性状调查
已经有12人回复
- 【求助】硅片的稳定钝化
已经有5人回复
- 【求助】想问问这个期刊上的文章在哪能查到
已经有3人回复
foxs2 
木虫 (文坛精英)
- 应助: 25 (小学生)
- 金币: 1021.6
- 散金: 4128
- 红花: 7
- 帖子: 26584
- 在线: 406.8小时
- 虫号: 1661572
- 注册: 2012-03-03
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2012-05-10 11:38:41
3楼2012-05-21 05:54:36
投票:
30