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(文献学习)一篇计算HfO2表面 结构与原子性质的文章
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fzx2008: 金币+3, 谢谢分享 2012-06-12 18:29:04
fzx2008: 金币+3, 谢谢分享 2012-06-12 18:29:04
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文章立意:在实际的CMOS器件中HfO2是多晶的,这些晶粒会形成很多的boundary,研究HfO2的表面电子结构,有助于理解这些boundary会对器件引起那些影响。例如,如果最稳定的HfO2表面是导电的,有一定的金属性,会引起很大的门极漏电电流。 文章的主体部分: 1.研究各个表面的表面能,通过对比,分析出能量上最favourable 表面。结论是(111)-O and(110) 最稳定。 2.详细讨论了这两个表面的弛豫,从Hf-O键的离子特性对弛豫的细节进行了解释 3.研究了这些表面的电子结构,分析了它们是导电的还是绝缘的。 解决的问题:HfO2最稳定的表面是(111)-O and(110)面,这两个面是绝缘的,排除了HfO2晶粒boundary引起很大门极漏电电流的可能性。 |
11楼2012-05-02 09:17:43
huangll99: 回帖置顶 2012-05-01 09:55:33
3楼2012-04-30 21:14:26
4楼2012-05-01 01:47:02
6楼2012-05-01 10:00:52














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