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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » 请问氮化硅看SEM腐蚀
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Jason

木虫 (著名写手)

[求助] 请问氮化硅看SEM腐蚀

请问氮化硅看SEM
腐蚀用酸还是用碱好
各有什么优势
那个更清晰

什么配方比较合适
各位大侠 推荐几篇文章
或是什么经典配方
谢谢
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Jason
1楼 2012-04-28 17:47:42
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Jason

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by mysey at 2012-05-01 20:17:01:
http://www.2ic.cn/html/28/t-407828.html

其实最好的腐蚀办法还是等离子腐蚀
可还没到货
我想用熔融氢氧化钠腐蚀
主要是看SEM
请问师兄腐蚀多长时间
还有怎么清洗比较好啊
多谢
赞一下 回复此楼
Jason
3楼2012-05-02 09:15:45
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mysey

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
tjcdp: 金币+1, 鼓励！！ 2012-05-01 20:26:59
Jason: 金币+5, ★有帮助 2012-05-02 09:14:08
http://www.2ic.cn/html/28/t-407828.html
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2楼2012-05-01 20:17:01
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loverain0626

金虫 (小有名气)
我用过熔融的NaOH腐蚀，腐蚀时间大概40s~1min左右。但根据样品的玻璃相含量不同，时间可能会有差异，这个要自己去试了。
ps：同意2楼说法，等离子刻蚀效果最好
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2012-05-02 16:00:18
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lyasdf

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
Jason: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-05-19 19:21:37
现在用的较多的还是熔融的氢氧化钠，具体时间看你烧结助剂的成分和含量，一般30s到3分钟都有。
赞一下(2人) 回复此楼
5楼2012-05-19 15:55:04
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