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Jason

木虫 (著名写手)

[求助] 请问氮化硅看SEM腐蚀

请问氮化硅看SEM
腐蚀用酸还是用碱好
各有什么优势
那个更清晰

什么配方比较合适
各位大侠 推荐几篇文章
或是什么经典配方
谢谢
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Jason
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Jason

木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by mysey at 2012-05-01 20:17:01:
http://www.2ic.cn/html/28/t-407828.html

其实最好的腐蚀办法还是等离子腐蚀
可还没到货
我想用熔融氢氧化钠腐蚀
主要是看SEM
请问师兄腐蚀多长时间
还有怎么清洗比较好啊
多谢
Jason
3楼2012-05-02 09:15:45
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mysey

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
tjcdp: 金币+1, 鼓励!! 2012-05-01 20:26:59
Jason: 金币+5, 有帮助 2012-05-02 09:14:08
2楼2012-05-01 20:17:01
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loverain0626

金虫 (小有名气)

我用过熔融的NaOH腐蚀,腐蚀时间大概40s~1min左右。但根据样品的玻璃相含量不同,时间可能会有差异,这个要自己去试了。
ps:同意2楼说法,等离子刻蚀效果最好
4楼2012-05-02 16:00:18
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lyasdf

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
Jason: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-05-19 19:21:37
现在用的较多的还是熔融的氢氧化钠,具体时间看你烧结助剂的成分和含量,一般30s到3分钟都有。
5楼2012-05-19 15:55:04
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