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Clarence_Lan

金虫 (小有名气)


[交流] 压电陶瓷电极的镀法

各位木木大神,我设计了一个压电陶瓷,电极部分如图阴影部分所示,不知道能用什么方法涂上去。现在知道涂电极的方法有丝网刷银浆,化学镀,真空镀膜这些方法。我之前用了第一种方法,用钢网(据说钢网比丝网好些,钢网厚度0.1mm)做出了电极的形状,然后刷上了导电银胶(因为我的PZT厂家已经极化,为了不退极化,用了113°热固化的导电银胶),但是因为压电陶瓷本身很小(图中单位为mm),所以刷上去的导电银胶厚度相对有点大,影响了振动性能。现在想考了化学镀、真空镀的方法,但是查了好像只能镀整个面吧,没法只镀图中这部分面积。我现在能想到的办法就是镀好整个面之后,用小刀把外面这部分刮掉,或者用磨床,不过对磨床一点概念都没有,也不知道哪个地方能做。求助各位,看看我用小刀的方法行不行?能不能用磨床,有这么小或者精度这么高的磨床吗?还有没有其它办法啊?

压电陶瓷和电极部分

[ Last edited by Clarence_Lan on 2012-4-28 at 11:02 ]
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Clarence_Lan

金虫 (小有名气)


引用回帖:
8楼: Originally posted by jkcls at 2012-05-03 08:00:41:
溅射全电极,用丝网印刷油墨把需要电极的部位保护好,然后腐蚀掉不需要的电极,再把油墨清洗掉就OK了。

呵呵,谢谢谢谢。听起来不错,就是这么小的面积不知道能不能实现。
9楼2012-05-05 16:27:29
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fly_feiyu

木虫 (小有名气)


★ ★
Clarence_Lan(金币+1): 谢谢参与
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-06 08:21:32
用磁控溅射呗,将电极掩模板覆盖在陶瓷上,然后固定好就行了,你可以问问周边做铁电薄膜的人,他们做点电极就是这样做的,并且磁控溅射镀电极时只要速率慢一些,不会使陶瓷过热而退极化
2楼2012-04-28 19:05:58
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★ ★
Clarence_Lan(金币+1): 谢谢参与
蒋青松: 金币+1, 感谢专家顾问回帖哈 2012-05-06 08:22:15
丝网印刷,mlcc都是用此法的

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
3楼2012-04-28 20:59:51
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Clarence_Lan

金虫 (小有名气)


引用回帖:
3楼: Originally posted by 封神之神 at 2012-04-28 20:59:51:
丝网印刷,mlcc都是用此法的

你的意思是mlcc是用丝网印刷吗? 现在问题是丝网印刷厚度有点大,对我这个PZT不大适合啊
4楼2012-04-29 15:12:43
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