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Clarence_Lan

金虫 (小有名气)

[交流] 压电陶瓷电极的镀法

各位木木大神，我设计了一个压电陶瓷，电极部分如图阴影部分所示，不知道能用什么方法涂上去。现在知道涂电极的方法有丝网刷银浆，化学镀，真空镀膜这些方法。我之前用了第一种方法，用钢网（据说钢网比丝网好些，钢网厚度0.1mm）做出了电极的形状，然后刷上了导电银胶（因为我的PZT厂家已经极化，为了不退极化，用了113°热固化的导电银胶），但是因为压电陶瓷本身很小（图中单位为mm），所以刷上去的导电银胶厚度相对有点大，影响了振动性能。现在想考了化学镀、真空镀的方法，但是查了好像只能镀整个面吧，没法只镀图中这部分面积。我现在能想到的办法就是镀好整个面之后，用小刀把外面这部分刮掉，或者用磨床，不过对磨床一点概念都没有，也不知道哪个地方能做。求助各位，看看我用小刀的方法行不行？能不能用磨床，有这么小或者精度这么高的磨床吗？还有没有其它办法啊？

压电陶瓷和电极部分

[ Last edited by Clarence_Lan on 2012-4-28 at 11:02 ]
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1楼 2012-04-28 10:55:42
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封神之神

至尊木虫 (知名作家)
★ ★
Clarence_Lan(金币+1): 谢谢参与
蒋青松: 金币+1, 感谢专家顾问回帖哈 2012-05-06 08:22:15
丝网印刷,mlcc都是用此法的

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼2012-04-28 20:59:51
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fly_feiyu

木虫 (小有名气)
★ ★
Clarence_Lan(金币+1): 谢谢参与
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-06 08:21:32
用磁控溅射呗，将电极掩模板覆盖在陶瓷上，然后固定好就行了，你可以问问周边做铁电薄膜的人，他们做点电极就是这样做的，并且磁控溅射镀电极时只要速率慢一些，不会使陶瓷过热而退极化
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2楼2012-04-28 19:05:58
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Clarence_Lan

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 封神之神 at 2012-04-28 20:59:51:
丝网印刷,mlcc都是用此法的

你的意思是mlcc是用丝网印刷吗？ 现在问题是丝网印刷厚度有点大，对我这个PZT不大适合啊
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4楼2012-04-29 15:12:43
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Clarence_Lan

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by fly_feiyu at 2012-04-28 19:05:58:
用磁控溅射呗，将电极掩模板覆盖在陶瓷上，然后固定好就行了，你可以问问周边做铁电薄膜的人，他们做点电极就是这样做的，并且磁控溅射镀电极时只要速率慢一些，不会使陶瓷过热而退极化

你好，请问要点是不是在于必需要个掩膜版遮挡不需镀膜的部分，然后无论是用磁控溅射还是真空镀都可以给它镀，你说的磁控溅射还有低温不易退极化的特点呢？
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5楼2012-04-29 15:20:30
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