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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 新手求助，磁控溅射，在银上溅射SiO2二氧化硅
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bluerushyou

银虫 (小有名气)
wenzhoucmm: 回帖置顶 2012-06-07 20:08:23
是你直接镀银的关系吧 - 脱皮脱的是银。银是有生长取向的 - 就是银在生长的过程中是要晶化的，所以你在玻璃上要先长一层Ta之类的能直接在玻璃上晶化的一层叫做buffer layer的东西。你应该先查一下Ag的生长取向，然后再找和Ag晶格常数错配度小的，跟它一个取向的能在玻璃上直接晶化的物质。 建议用Ta。

试想一下你盖房子不打地基直接在水泥地上支起钢架，肯定要塌吧
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11楼2012-06-07 03:03:52
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civita

新虫 (小有名气)
学习一下  以后也要用上磁控溅射
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12楼2012-06-13 23:44:02
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孙?�730

至尊木虫 (知名作家)

优秀版主

【答案】应助回帖

楼主是学化学的
就先从化学角度说说
Ag和玻璃的界面结合力不是很大
主要靠O与Ag电子层之间的极化作用
玻璃表面通常存在大量的-OH,
H会削弱O与Ag电子层之间的极化作用
而沉积的SiO2没有这种削弱作用

再说工艺问题
衬低温度和热膨胀系数 是关键因素
不知道楼主是否仔细讨论过
希望给出技术参数
各层之间的热膨胀-(冷)收缩情况不同

以上两方面原因造成 Ag与SiO2结合 并从玻璃衬底上脱落

脱落 原因是 热膨胀-(冷)收缩情况不同
Ag与SiO2结合 而不留在衬底上 原因是 Ag与SiO2的结合强度 大于 Ag与玻璃的结合强度
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sunyu730_emuch@126.com
13楼2012-06-14 00:14:45
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muxi126

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

哥们 你的二氧化硅怎么镀的 是通过氩气和氧气的混合气溅射得到的吗  要是有氧气存在会氧化掉银膜层，结合力必然不好。我们做的时候都是加入牺牲层的 比如零点几nm的NiCr等，有机会可以深入交流。
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尽人事，听天命。
14楼2013-06-17 13:50:52
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muxi126

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

还有 玻璃和银层的结合力本身不太好 也要加入过渡层 最好  我们做的最简单的膜系结构是这个样子的玻璃衬底/SiN/NiCr/Ag/NiCr/SiN
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尽人事，听天命。
15楼2013-06-17 13:53:09
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david901

禁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
16楼2013-07-07 16:02:21
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