24小时热门版块排行榜    

查看: 2689  |  回复: 15
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

wenzhoucmm

新虫 (初入文坛)

[求助] 新手求助,磁控溅射,在银上溅射SiO2二氧化硅

求助,有谁做过在银上射频溅射二氧化硅么?我是先在玻璃片上直流溅射一层约50nm厚的银膜然后然后转射频溅射镀500nm厚的SiO2,样品拿出来一个小时后发现脱皮的现象,要怎么办呀?求高手相助!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bluerushyou

银虫 (小有名气)

wenzhoucmm: 回帖置顶 2012-06-07 20:08:23
是你直接镀银的关系吧 - 脱皮脱的是银。银是有生长取向的 - 就是银在生长的过程中是要晶化的,所以你在玻璃上要先长一层Ta之类的能直接在玻璃上晶化的一层叫做buffer layer的东西。你应该先查一下Ag的生长取向,然后再找和Ag晶格常数错配度小的,跟它一个取向的能在玻璃上直接晶化的物质。 建议用Ta。

试想一下你盖房子不打地基直接在水泥地上支起钢架,肯定要塌吧
11楼2012-06-07 03:03:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答

dingwf

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
提高真空度吧,真空太低了。
人的一生,有多少可以自己把握?
2楼2012-04-28 10:50:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wenzhoucmm

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by dingwf at 2012-04-28 10:50:09:
提高真空度吧,真空太低了。

什么是真空度?是降低镀SiO2的时候的压强么?我是在1Pa镀的
3楼2012-04-28 10:59:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wenzhoucmm

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by dingwf at 2012-04-28 10:50:09:
提高真空度吧,真空太低了。

背景真空是抽到5×10-4pa,
4楼2012-04-28 11:06:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
信息提示
请填处理意见