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qqxiwuzhiren

铁杆木虫 (著名写手)


[交流] 陶瓷薄膜的问题

我用PLD法制备薄膜,我想知道,在衬底温度对薄膜的厚度有什么样的影响?还有,衬底问题对薄膜哪些参数还有影响,怎么影响?有高手帮我详细解答一下吗?谢谢
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Tommy8726

银虫 (小有名气)



qqxiwuzhiren(金币+1): 谢谢参与
衬底温度就是给沉积在基片上的原子一个能量。可以让排列无序的原子越过势垒结晶,但是沉底温度过高也会使得原子的能量过大,薄膜粗糙度变大,甚至影响沉积率
2楼2012-04-25 19:12:25
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