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qqxiwuzhiren

铁杆木虫 (著名写手)

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[交流] 陶瓷薄膜的问题

我用PLD法制备薄膜，我想知道，在衬底温度对薄膜的厚度有什么样的影响？还有，衬底问题对薄膜哪些参数还有影响，怎么影响？有高手帮我详细解答一下吗？谢谢

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1楼 2012-04-24 21:28:38

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Tommy8726

银虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
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帖子: 165
在线: 23.5小时
虫号: 731908

★
qqxiwuzhiren(金币+1): 谢谢参与

衬底温度就是给沉积在基片上的原子一个能量。可以让排列无序的原子越过势垒结晶，但是沉底温度过高也会使得原子的能量过大，薄膜粗糙度变大，甚至影响沉积率

赞一下(2人)

2楼2012-04-25 19:12:25

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