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月下冰魂木虫 (正式写手)
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霍尔测试样品时，测试的深度与什么有关呀？
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我的样品是单晶硅片，上面长了几层单晶的薄膜，厚度在几十到上百纳米，我想测最上面一层的载流子迁移率，不希望有其他层的干扰。不知道霍尔测试能不能达到要求？霍尔测试的深度是与什么有关呢？可以通过调节掺杂来实现吗？ 谢谢 |
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pandabear
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【答案】应助回帖
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qiqiqiqi: 金币+1, 回答的很具体 2012-04-24 11:01:22
月下冰魂: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-05-31 08:29:24
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| 测霍尔没有测试深度这一说，一般谈到深度的话都是需要用探针来参与测量的，例如ECV,AFM之类的。。。。你可以看看这篇文章http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-JLXB199201010.htm。 |
2楼2012-04-24 10:09:42
alienpig
木虫 (正式写手)
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