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苍冥之鹰金虫 (著名写手)
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[求助]
请问各位，如何使聚苯乙烯在晶片上成膜？
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| 本人想将聚苯乙烯涂在石英晶片上，我是先用THF溶解聚苯乙烯再滴在晶片上，再等THF挥发，可是成膜效果不是很好，有人知道是哪里有问题吗？有没有更好的办法使聚苯乙烯涂于晶片（形成的聚苯乙烯膜要很薄）？ |
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 高分子加工-工艺 | 涂膜 | 合成制备相关 |
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vmuch520
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wgs8136: 金币+3, 感谢应助 2012-04-25 18:35:34
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1、用离心机代替？怎么代替，旋转涂膜机上面是平的，离心机怎么实现的得了呢？做了个套子套在离心机中间的轴上这个难度比较大，很难保持平面，而且甩时要用真空泵吸住的。 2、溶剂问题，聚苯乙烯和甲苯二者溶度参数很接近，甲苯是PS的比较理想的溶剂了，而且比较适合spin-coating。四氢呋喃也可以的吧，而且沸点比较低容易挥发，比较适合滴膜。至于移液枪你不必担心，枪头一般是PE或PP做的，常温先常规溶剂很难把它溶解掉的。 3、建议：做膜的话，涂膜机时很理想的，从长远考虑的话，如果以后用的很多的话，可以考虑买一台哦，不贵的（你是在北京吗？中科院微电子所有卖）。 为了给你更好的提携建议，问你几个问题：为什么要微升级的量呢？你要做多厚（nm级厚度还是微米级）、多大面积的膜呢？你今天试的几次，石英片你是怎么处理的？ 你所说的成膜效果不是很好是怎么不好法（这个必须回答我，你前面我问了你还没回答）？ 我的建议，其实把基体处理好，溶度配稀点，直接滴上面去也应该是是可行的。 4、不懂的可以和老板、实验室的多多交流讨论，多看相关文献，也可以来小木虫交流、请教。 |
8楼2012-04-24 20:07:57
qsywp
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2楼2012-04-23 20:28:28
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3楼2012-04-23 20:40:35
vmuch520
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wgs8136: 金币+3, 感谢应助! 2012-04-24 20:07:31
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成膜效果不是很好是怎么个不好法？ 可以使用spin-coating的办法。 有几点需要注意： 1、浓度（5wt%以内）和转速合适（1500-3000rpm）；厚度主要取决于浓度，转速影响较小； 2、选合适的溶剂，厚度还取决于溶剂沸点，而且沸点越低溶剂越易挥发甩的膜就越粗糙。 3、不管你直接滴或者用spin-coating办法做膜，石英片最好处理处理干净。 楼主为什么不用甲苯作溶剂呢？ |
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苍冥之鹰4楼2012-04-23 20:53:16