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苍冥之鹰主管区长
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请问各位,如何使聚苯乙烯在晶片上成膜?
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| 本人想将聚苯乙烯涂在石英晶片上,我是先用THF溶解聚苯乙烯再滴在晶片上,再等THF挥发,可是成膜效果不是很好,有人知道是哪里有问题吗?有没有更好的办法使聚苯乙烯涂于晶片(形成的聚苯乙烯膜要很薄)? |
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苍冥之鹰
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【答案】应助回帖
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成膜效果不是很好是怎么个不好法? 可以使用spin-coating的办法。 有几点需要注意: 1、浓度(5wt%以内)和转速合适(1500-3000rpm);厚度主要取决于浓度,转速影响较小; 2、选合适的溶剂,厚度还取决于溶剂沸点,而且沸点越低溶剂越易挥发甩的膜就越粗糙。 3、不管你直接滴或者用spin-coating办法做膜,石英片最好处理处理干净。 楼主为什么不用甲苯作溶剂呢? |
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4楼2012-04-23 20:53:16














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